Comparando XY

Apr 02, 2023

Esses sistemas podem ser configurados e fornecidos como componentes individuais ou como sistemas de movimento integrados completos com interfaces personalizadas, soluções de gerenciamento de cabos, passagem a vácuo e estruturas integradas de granito e alumínio otimizadas para aplicação.

Artigo de | PI

Os estágios XY-Theta de 3 eixos de alta precisão (conjuntos XYT) são críticos em muitos processos de teste e produção relacionados à usinagem de precisão a laser, teste e produção de semicondutores e fotônica e fabricação de dispositivos médicos. A PI oferece um amplo e profundo conjunto de soluções para sistemas integrados de movimento XY-Theta com controladores de movimento industrial. Esses sistemas podem ser configurados e fornecidos como componentes individuais ou como sistemas de movimento integrados completos com interfaces personalizadas, soluções de gerenciamento de cabos, passagem a vácuo e estruturas integradas de granito e alumínio otimizadas para aplicação.

Um conjunto de estágio XY-Theta baseado em granito de altíssimo desempenho baseado em um estágio XY de rolamento de ar plano A-322 com uma mesa rotativa de rolamento de ar.

Conjunto compacto de estágio XY-theta de baixo perfil baseado em rolamento de ar. Veja o estágio de mancal A-311 XY-air em movimento

As equipes de engenharia da PI possuem amplo conhecimento e experiência com tecnologia de mancais a ar e sistemas de estágio de movimento multi-eixo. O desempenho de ultraprecisão dos sistemas de posicionamento de rolamentos de ar projetados, juntamente com sua natureza sem desgaste, os torna soluções ideais para aplicações de semicondutores que envolvem movimentos lineares e rotacionais combinados.

Estágio XY-Theta personalizado baseado no estágio de rolamento de ar XY de viagem longa A-311 e no estágio giratório A-621 para rotação Theta-Z de 360°

Na imagem acima, uma mesa de movimento planar XY de rolamento de ar A-311 personalizada e de baixo perfil é combinada com um estágio de rotação de rolamento de ar de alta precisão da série A-621 em um conjunto XYT de precisão.

Vídeo: estágio de rolamento de ar XY-Theta baseado em estágios planares XY de baixo perfil (modelo A-311) e estágio Theta-Z de rolamento de ar de acionamento direto (modelo A-623). Este estágio compacto de 3 eixos é adequado para aplicações de laser, teste e metrologia de alto desempenho.

Quando mais graus de liberdade são necessários, os estágios XY podem ser combinados com um módulo de movimento Z-Tip-Tilt (ZTT) de baixo perfil para formar sistemas de 5 eixos, como o estágio wafer 5-DOF para aplicações de metrologia de semicondutores, mostrado em o vídeo abaixo. O módulo ZTT também pode ser adicionado aos estágios XY-Theta para aplicações de movimento 6DOF.

Vídeo: Estágio de metrologia wafer de 5 eixos com mancais de ar

Os conjuntos de estágio de 3 eixos PI XY-Theta usam componentes de controle de movimento industrial ACS. Os controladores PI baseados em ACS usam configurações otimizadas para melhor desempenho de aplicativos. Isso inclui sistemas pré-configurados com informações otimizadas de parâmetros do sistema, prontas para operação pronta para uso, incluindo acionamento de dispositivo sincronizado por movimento por meio do hardware Módulo de controle a laser (LCM) / Interface de controle a laser (LCI), bem como recursos de segurança funcional, como Torque seguro Desligado.

O módulo de controle do laser ACS

A funcionalidade Safe Torque Off (STO) com certificação PL e/SIL 3 fornece aos fabricantes de máquinas uma maneira simples e econômica de implementar a segurança da máquina. O STO está disponível em controladores de movimento PI selecionados.

Em muitas aplicações, a compacidade é crítica para a integração da ferramenta. A platina linear de perfil baixo V-508 / platina rotativa de perfil baixo V-610, sistema de movimento multi-eixo de acionamento direto, é um exemplo de uma montagem de 3 eixos leve e de alto desempenho que é extremamente discreta, altamente compacta e também tecnologicamente flexível para atender de maneira otimizada tanto passos rápidos quanto aplicações de digitalização coordenada suave com tolerâncias de erro que variam de nanômetros a mícrons.

Conjunto de platina XY-Theta com abertura livre para caminho de luz, proporcionando deslocamento de 25x80mm. O conjunto consiste em dois estágios de translação linear compactos V-508 e um estágio rotativo de acionamento direto V-610.

As aplicações de automação industrial de alto rendimento de movimento de precisão geralmente envolvem movimentos repetitivos com cargas e acelerações mais altas. Aqui, a montagem de estágio de automação de precisão da série V-817 com uma mesa rotativa de acionamento direto, mostrada acima, fornece alta aceleração e movimento de ciclo de trabalho alto com motores lineares trifásicos eficientes e motores de torque que oferecem alta força contínua e de pico. A construção e o design rígidos do estágio usando ligas de alumínio de grau aeronáutico fornecem rigidez para lidar com alto impulso em curtos períodos de tempo com precisão adequada. Caminhões de precisão e rolamentos ferroviários são implementados para características de carga e longa vida útil operacional. O estágio rotativo integrado de acionamento direto de alta velocidade com saída de alto torque é usado para ajuste dinâmico de passos e desempenho de escaneamento.